纳米级三维激光直写设备

        由魔技纳米自主研发的拥有独立知识产权的商用纳米级三维激光直写设备,能同时兼顾高精度和高自由度,实现在纳米级精度上三维结构的自由设计,具有高速度、超分辨、大范围、无限视场等技术优势

魔技纳米

主要技术参数

加工线宽(nm):>100

单结构成型尺寸(μm):<200*200*200

加工幅面(mm)(可选):25-300

加工高度(mm):<10

重复定位精度(μm):>0.001

最高线性速度(mm/s)(与物镜视场大小有关):100

设备额定功率(kW):3.6

表面平滑度Ra(nm):<10

扩展特性:2.5维衍射光学元件高速算法加工、平面图案一次成型、自动对焦、至少一百路光束并行加工、大幅面自动成像、10轴飞行联动。