双光子_三维光刻_跨尺度微纳加工_自相关仪_自动显影机

UV-Smart

其小巧紧凑的设计使其适用于实验室环境，并具有高直写速度、高分辨率和高对准精度等特点。采用集成化设计和全自动控制，操作简便，适合快速加工、建模或小批量生产。广泛应用于微流控、半导体、生物技术和微电子等领域。

主要特点：

- 快速和简单的对准程序，实现2D/2.5D微纳结构加工

- 全自动化的可视控制系统与图形化编程语言的应用，显著提升设备调控的灵活性与自主性

- 加工图案预览功能和对准误差补偿

- 适配多种基材，适用不同尺寸、形状基底的真空吸附平台

- 加工面自动平整和自动聚焦，保证加工一致性

- 高灵活性，一键切换多种加工模式，可选灰度曝光