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基于多光子聚合原理的超高效率一体化微纳三维加工设备，实现跨尺度宏微结合的高精度微纳三维加工，在光子桥接、生物微流控、微光学器件、光通信器件、超材料、微机械等领域有重要应用。
加工原理：多光子聚合
最小横向特征尺寸：100nm *
最小纵向特征尺寸：400nm *
最佳表面粗糙度Ra：≤20nm *
最大扫描速度：80000 mm/s 除以物镜放大倍数▲
加工样品最大高度：70mm
最大加工体积：300mm × 300mm × 70mm
*与光刻胶材料和所用物镜有关；▲与所用物镜和扫描加工模式有关。例如，采用10×物镜和高速扫描加工时速度为8000mm/s
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