双光子,微纳3D打印,三维光刻,跨尺度微纳加工,自相关仪,自动显影机,飞秒激光加工,生物打印

MN-UV-Smart

桌面级无掩膜紫外光刻设备,用于晶圆级2D/2.5D微纳结构加工

    设备为小巧紧凑型设计,无需掩膜,具备高直写速度、高分辨率、高对准精度等特点。采用集成化设计,全自动控制,操作简便,适合实验室科研需求及快速加工、建模或小批量生产。广泛应用于微流控、半导体、生物技术和微电子等领域。

主要特点:

高速度

- 快速、高精度面加工

- 快速和简单的对准程序

高精度

- 无拼接式高精度加工

- 加工图案预览功能,高精度对准

- 对准误差补偿

高灵活性

- 一键切换多种加工模式,快速升级和扩展服务

- 可选灰度曝光

- 全自动可视过程控制系统

- 图形化和过程编辑语言,增加设备调控自由度

- 适配多种基材

- 适用不同尺寸、形状基底的真空吸附平台

长时稳定性

- 加工面自动平整、加工面自动聚焦

如需设备参数,请致电0535-6981985、18615037228