主要特点：

高速度

- 快速、高精度面加工

- 快速和简单的对准程序

高精度

- 无拼接式高精度加工

- 加工图案预览功能，高精度对准

- 对准误差补偿

高灵活性

- 一键切换多种加工模式，快速升级和扩展服务

- 可选灰度曝光

- 全自动可视过程控制系统

- 图形化和过程编辑语言，增加设备调控自由度

- 适配多种基材

- 适用不同尺寸、形状基底的真空吸附平台

长时稳定性

- 加工面自动平整、加工面自动聚焦

如需设备参数，请致电0535-6981985、18615037228