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增减材结合的可用于工业生产的超快激光微纳⽶级精度加工中心设备。可实现光刻胶材料的三维增材以及金属、合金、玻璃等材料的打孔、表面结构处理、选择性激光消融、改性等功能。具有高精度、超高速度、大幅面加工、全自动操控、长时稳定性、简单直观软件和适配功能化的多种材料，可广泛应用于微纳光学、生物医学、半导体、光通信等行业的微纳加工。
加工方式：多光子聚合增材 + 高功率减材
最小横向特征尺寸 (增材)：160 nm *
最佳表面粗糙度 Ra (增材)：≤ 50 nm *
加工样品最大高度 (增材)：70 mm
最大加工体积：300 mm x 300 mm x 70 mm
最大扫描速度: 1000 mm/s 除以物镜放大倍数，再乘以焦点数 ▲
单次扫描加工区域的最大直径: F / M x 70%，其中F和M为物镜的视场数和放大倍数
可加工材料: 增材：光刻胶；减材、改性：玻璃、金属、合金
* 与光刻胶和物镜有关；▲ 与光刻胶、物镜放大倍数和并行加工中的焦点数有关。例如，10X物镜和100个焦点时速度为10000 mm/s
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