专为实验室科研需求和小批量生产设计。具有高直写速度、高分辨率和高对准精度等特点。采用集成化设计和全自动控制，操作简便，适合快速加工、建模或小批量生产。广泛应用于微流控、半导体、生物技术和微电子等领域。
主要特点
➤ 快速和简单的对准程序，实现2D/2.5D微纳结构加工
➤ 全自动化的可视控制系统与图形化编程语言的应用，显著提升设备调控的灵活性与自主性
➤ 加工图案预览功能和对准误差补偿
➤ 适配多种基材，适用不同尺寸、形状基底的真空吸附平台
➤ 加工面自动平整和自动聚焦，保证加工一致性
➤ 高灵活性，一键切换多种加工模式，可选灰度曝光
加工案例
分辨率板
微透镜
衍射元件
锥面微透镜
菲涅尔透镜
平面电极结构
纳米级防伪图案
灰阶加工曲面结构
六边形图案
客户服务
➤ 售前定制服务
根据客户加工需求，提供专业的解决方案；提供后期应用扩展，预留硬件及软件接口。
➤ 技术服务支持
提供热线电话、远程操控及现场支持；提供用户系统性能优化、日常维护、配件更换及设备应用扩展升级。
➤ 终身应用支持
提供软件升级服务，提供测试方案、应用操作、结果分析等支持，提供常见故障维护和解决方案。
➤ 终身维修支持
配备专业维修工程师，2小时响应，72小时到达现场；提供延保服务、免费培训、终身维修服务。
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