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三维光刻技术在微透镜生产中的应用


发布时间:

2024-10-30

微透镜阵列由直径从几百纳米到几毫米的子透镜组成,这些透镜按照一定的顺序排列在基底上,单元数量从几千到几万不等。

微透镜阵列由直径从几百纳米到几毫米的子透镜组成,这些子透镜按照一定的顺序排列在基底上,单元数量从几千到几万不等。由于微透镜阵列中的每个子透镜都有独特的光轴,如果所有子透镜的参数相同,它们的光学特性也应该相同,当所有单元结构作为一个整体的阵列使用时,它们具有一个主光轴。因此,与传统的单透镜相比,微透镜阵列具有极高的平行性。每个子透镜可以独立传输光信号而不相互干扰,这相当于存在大量的二维平行光路。每个子透镜具有传输光信息和成像转换的功能。制造微透镜阵列的方法有很多种。我们列出几种常见的生产方法,并重点介绍三维光刻技术在微透镜生产中的应用。