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魔技纳米再度斩获省级科技奖——山东省装备制造业科技创新奖一等奖!


发布时间:

2025-12-08

近日,在“2025年山东省高端智能装备产业创新发展交流活动暨2025年度(第六届)山东省装备制造业科技创新发展大会”上,魔技纳米凭借“微纳三维制造及其光敏材料关键技术及应用”项目的突破性技术创新与显著产业价值,成功摘得“2025年度山东省装备制造业科技创新奖一等奖”!

  近日,在“2025年山东省高端智能装备产业创新发展交流活动暨2025年度(第六届)山东省装备制造业科技创新发展大会”上,魔技纳米凭借“微纳三维制造及其光敏材料关键技术及应用”项目的突破性技术创新与显著产业价值,成功摘得“2025年度山东省装备制造业科技创新奖一等奖”!

  这是我司该成果继2025年7月斩获“山东省工程师协会工程科学技术奖一等奖”、9月获评“2024年度中国好技术A类”及“山东电子学会科学技术奖二等奖”后,科技实力再获省级权威认证!


  魔技纳米团队深耕微纳制造十余年,此次获奖的成果,实现了工业级装备的重大技术突破,形成三大系列商用装备,构建了“设备-材料-工艺”的全链条交付能力,技术和装备整体技术水平达到“国际先进”水准!

  成果突破三维微纳结构超高精度制造技术,最小特征尺寸≤50nm,实现500×500mm²大面积加工;自主研发Nano Boost Printer超高速技术平台,突破传统路径扫描方式速度和精度的限制,单点实现10-200倍速度提升,突破量产瓶颈;建立工业级微纳三维光刻装备稳定性技术体系,已交付设备无故障运行≥50个月;自主研制15种光刻胶,实现材料国产化替代,建立跨领域工艺体系,在生物医疗、光通信等场景实现高效批量应用。

  此次获奖,是对魔技纳米项目团队科研实力的高度认可,更是对我司装备在山东省高端装备制造领域领先地位的有力印证。未来,魔技纳米将继续致力于突破微纳制造技术边界,延伸并落地更多产业应用领域,为我国装备制造向高端化、智能化升级注入新动能,助力我国装备制造业向全球价值链中高端迈进!