双光子高精度三维激光直接写入和三维光子桥接
发布时间:
2024-11-04
Moji-Nano 是国内商业纳米级三维激光直接写入制造系统的制造商,采用世界先进的激光无限视野逐点直接写入技术。
硅光芯片不仅具备成熟技术的基础、高集成度和微电子的低价格,还具有光电子的高带宽、超快速、抗干扰和低功耗等优势。它们受到国内外众多科技公司的推崇,已成为半导体和通信公司的热点。它将在未来的光存储、光显示、光互连、光计算以及未来的医疗健康、航空航天和国防等领域发挥重要作用。无论是从摆脱国内产业困境的角度,还是从赶上全球步伐的角度,开发独立可控的“中国光电芯片”的新方法和技术都是迫在眉睫的。中国的硅光芯片在设计、制备、封装、测试等方面并不完美。大多数硅光芯片需要国外OEM,硅光器件之间的耦合以及高密度集成等关键技术问题亟待解决。高速、跨尺度和纳米级高精度的三维激光直写是制备新光子材料和器件、提高其性能的关键技术,对硅光芯片集成领域的发展具有重要影响。尽管基于飞秒激光双光子或多光子聚合的微纳3D打印技术具有高纳米级三维加工能力,但其加工效率低的缺点严重限制了此类技术在大规模集成硅光芯片制造中的应用。
利用纳米级三维激光直写技术,在光电芯片上加工三维光波导结构,用于实现不同光芯片、芯片与光纤之间的耦合和互连,从而有效连接各种光子集成平台,简化先进光多级模块的组装过程,可以作为一种额外的三维光子集成技术。同时,它结合光场调控技术,实现多功能并行三维纳米加工,并利用光场的多参数调制构建多维、高精度、高速和跨尺度的动态三维集成耦合,解决了硅光芯片之间高精度三维纳米制造的耦合与集成应用中的低耦合效率、高损耗和高成本等关键问题,突破了多个技术瓶颈,为后续制备结构更复杂、功能更完善的硅光芯片集成器件奠定了基础,并推动纳米级三维激光直写相关技术在硅光芯片产业应用领域的发展。
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